Los ingresos de AXCELIS TECHNOLOGIES INC en el último año ascendieron a 1.02 B EUR, de los cuales 1.01 B EUR procedieron de su fuente más rentable en ese momento, Ion Implantation Systems and Services, que el año anterior aportó 839.18 M EUR. La mayor contribución a los ingresos provino de Estados Unidos, que el año pasado aportó AXCELIS TECHNOLOGIES INC 678.86 M EUR, y el año anterior al pasado 592.46 M EUR.