Los ingresos de AXCELIS TECHS INC en el último año ascendieron a 951.90 M CHF, de los cuales 935.62 M CHF procedieron de su fuente más rentable en ese momento, Ion Implantation Systems and Services, que el año anterior aportó 830.53 M CHF. La mayor contribución a los ingresos provino de Estados Unidos, que el año pasado aportó AXCELIS TECHS INC 630.85 M CHF, y el año anterior al pasado 586.35 M CHF.