Los ingresos de Axcelis Technologies, Inc. en el último año ascendieron a 1.13 B USD, de los cuales 1.11 B USD procedieron de su fuente más rentable en ese momento, Ion Implantation Systems and Services, que el año anterior aportó 898.13 M USD. La mayor contribución a los ingresos provino de Estados Unidos, que el año pasado aportó Axcelis Technologies, Inc. 749.29 M USD, y el año anterior al pasado 634.08 M USD.